净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非**没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
一是由于工程成本的制约,一些中、小洁净工程设计和施工单位不按国家标准施工,造成设计的洁净室不符合洁净厂房设计规范,无法满足企业生产的需要。二是将洁净室性能检测和测评工作混为一谈,有些企业认为完成竣工检测就可以投入生产,而忽视了洁净室的综合测评工作,这两者实施主体不同、检测内容不同,不可省略任何一个环节。三是洁净室本身的问题,洁净室打扫不彻底、不规范、洁净室通风设备不合理、洁净室布局不科学等。
气流组织形式:洁净室设计中气流组织形式是由洁净度级别决定的,可以采用上送下侧回、水平单向流、垂直单向流等气流组织形式。其他参数:设计中采用的采暖设备、通风设备等必须以人为本,保证适宜的温湿度,满足舒适度的要求。设计中还要注意设备的噪音控制、照明设备、风速控制等方面的要求。
负压与隔离措施。生物安全净化车间必须保证生产车间处于负压状态,维持室内负压,因为生物颗粒的危害程度较高。此外,设计中还应采取隔离措施,用安全柜或者隔离箱,隔离生物颗粒与操作人员,这时的隔离为二次隔离,为生物颗粒污染增添了一道安全屏障。通过隔离措施将洁净室变为负压区,有效地防止了危险生物颗粒的污染。